加速度计是目前MEMS 技术商业化最成功的技术, 其他惯性器件, 如陀螺仪, 也开始大规模进入市场。

汽车工业。拥有提供读取功能和自检功能的集成电子设备, 其成本远远低于几十年前的加速度计。        

MEMS 加速度计根据传感原理不同分为电式容、压阻式、电磁式、压电式、铁电式、光学式和隧道式。其中，电容式传感器元件由于本身简单, 对特殊材料没有要求, 功耗低, 温度稳定性好等特点成为最常用的类型。由于许多电容式传感器相对位移非线性的电容特性, 因此要用传感器中的反馈系统将信号转换为线性输出。输出可以是模拟、数字、与电源电压的比率, 也可以是任何类型的脉冲调制。当数据传输没有进一步降低噪声时, 具有数字输出的传感器非常方便。