使用的是两个表面之间距离变化为基础的简单、稳定的静电容量检测原理。两个表面的静电容量（蓄电量）的距离根据重合部分的不同而不同。3D MEMS传感器结构坚固、对惯性及压力灵敏度高，但不会对其他的环境变化因素和故障原因产生反应。例如，将加速度传感器及陀螺仪左右对称放置，依据设计原理，可以提高稳定性、直线性、他轴灵敏度、振动灵敏度。

配合用途，加速度传感器、陀螺仪的圧力传感元件的灵敏度、测量范围、响应频率都可以进行调整。加速度传感器及陀螺仪的平面及Z轴测量，可以实现3轴感知。陀螺仪可以用来检测地球自转这类微小信号，也可以追踪人的手的移动这类大幅度运动的信号，用途广泛。

使用SiP (System in Package)技术，将1个或多个感应元件放入信号处理电路中。结构非常坚固、高可靠性的膜制塑料封装，常被用于汽车产品及工业产品。